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清洗石英管的方法有：石英玻璃在半導體工業設備上，使用溫度經常在 1000 ℃至 1300 ℃之高溫狀態，在此種狀態下由于附著不純物導致失透現象發生，失透之部分為石英之晶質化，晶質化之變態點為 275 ℃，當石英玻璃自高溫降至此變態溫度時，表面失透之晶質化部分與石英玻璃本身高溫之 α 相與低溫之 β 相間膨脹系數不同在急速冷卻下產生不透明之剝離狀更嚴重時會造成破裂現象產生。

文章出自石英管小編：http://www.fzquartz.com/  

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