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| 半導體用透明石英玻璃管的適用范圍以及其他信息 | | 新聞來源： 點擊數：3114 更新時間：2014/9/19 15:12:01 收藏此頁 |
| 1、主題內容與合用范圍
本尺度劃定了半導體用透明石英玻璃管的分類、規格尺寸、技術要求、試驗方法， 檢修規則及標志、包裝、運輸和貯存等。 本尺度合用于自然水晶或自然高純二氧化硅、硅鹵化物作原料，應用于半導體工業的透明石英玻璃管（以下簡稱石英玻璃管）。冶金、化學產業用透明石英玻璃管也可參照本尺度。
2、引用尺度
GB／T3284石英玻璃化學成分分析方法
GB59a9透明石英玻璃氣泡、氣線檢修方法
GB10701石英玻璃熱不亂性檢修方法
GB／T l2442石英玻璃中羥基含量試驗方法
3、術語
3．1氣線：石英玻璃管壁內或表面的線狀棱形空穴。
3．2氣線密度：每平方厘米中氣線條數。
3．3破皮氣線：暴露在石英玻璃管內外表面的啟齒氣線，其邊沿鋒利。
3．4色線：石英玻璃管上帶有顏色的線條。
3．5溝棱：石英玻璃管表面在長度方向形成的凹凸不平的溝槽和凸棱。
3．6晶紋：石英玻璃管上有顯著可見的各種微小的炸裂紋。
3．7麻點：石英玻璃管壁上的小雀斑。它是粘附在管壁上的粒狀雜質經清除后殘留的痕跡。
3．8雜質：石英玻璃組成中二氧化硅（Si02）以外的組分。
3．9生料顆粒：透明石英玻璃管的內、外壁上在熔制過程中所粘附的未熔化的石英質顆粒。
3．10透明顆粒：石英玻璃管中完全熔化的透明石英質顆粒。
3．11波紋：石英玻璃管的內、外壁圓周呈現軸向的波浪形凹凸不平。
3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意外形的色點。
3．13氣泡群：透明石英玻璃管壁中，由微小氣泡（小于尺度中氣泡的下限尺寸）密集而成的群集氣泡。
3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上較大雜質點、氣泡等弊病后留下的痕跡。
3．15暗疤：透明石英玻璃管壁內呈現的一種斜狀、透明、有顯著界面的玻璃態（俗稱雪花，破皮或梅花）。在高溫熔燒中發橙色亮光。
3．16炸裂：石英玻璃管經急冷急熱而產生的裂紋或碎裂。
3．17析晶：透明石英玻璃在特定溫度下析出晶體，造成失透。
3．18桔皮：透明石英玻璃管外觀呈現的象桔子皮似的影像。
3．19云霧：石英玻璃管燒制加工中，所產生的二氧化硅（SiO2）揮發物，冷凝后附著在表壁上的白色不透明物。
3．20偏壁度：石英玻璃管統一橫截面上******、最小壁厚之差。
3．21橢圓度：石英玻璃管統一橫截面上******、最小直徑之差。
3．22彎曲度：石英玻璃管在長度方向的平直程度。
4、產品分類
4．1分類
投出產工藝分以下5類：
a．真空常壓法管（常壓管）；
b．真空加壓法管（加壓管）；
c．電熔二步法管；
d．氣煉、電熔二步法管（氣煉二步法管）；
e．氣煉一步法管（氣煉管）。
4．2等級
石英玻璃管按外觀分為優等品（A）、一等品（B）和合格品（C）3個等級。
5、技術要求
5．1規格尺寸
5．1．1石英玻璃管的規格尺寸范圍及外徑、壁厚偏差應符合表1、表2的劃定。
5．1．2石英玻璃管的尺度長度為1000mm。
注：1．管子為兩端啟齒亦可為一端啟齒，封口管其孤度部門不包括在長度內。
2．特殊規格或其它規格的管子，由供需雙方約定。
5．1．3矩形管、鐘罩式石英管規格尺寸由供需雙方約定。
5．2尺寸偏差
5．2．1外徑偏差、壁厚偏差應符合表1、表2的劃定。
5．2．2長度：偏差為管長的±1％。
5．2．3偏壁度：不得大于壁厚偏差的絕對值。
5．2．4橢圓度：不得大于外徑偏差的絕對值。
5．2．5彎曲度：不得超過管長的3‰。
注：管長在1000mm以上，其彎曲度不得超過管長的2．5‰。
5．3外觀指標
5．3．1常壓管、加壓管、電熔二步法、氣煉二步法管的外觀指標應不大于表3的劃定。
5．4雜質含量
5．4．1Al、Fe、Ca、Mg、Cu、Co、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B13個雜質元素的總含
量應不大于50×10[-6]其中：
Fe≤3×10[-6]，Cu≤0．8×10[-6]，Na≤2×l0[-6]，
K≤2×l0[-6]，Li≤2×l0[-6]，B≤0．3×l0[-6]。
5．4．2羥基含量
半導體用石英玻璃管的羥基含量應不大于220×l0[-6]。
5．5物理機能
5．5．1熱不亂性
石英玻璃管在1100℃下恒溫15min，置于20±5℃水中急冷，不得泛起裂紋、缺口
（切、磨口處斷面崩落不計）。
5．5．2析晶機能
石英玻璃管在l100±5℃下恒溫6h，析晶層均勻厚度不大于100μm。
5．5．3高溫變形
石英玻璃管在1200±10℃下保溫24h，其變形率：直徑不大于120mm的管材變形率
應不大于4％，直徑大于120mm的管材，變形率應不大于6％。
6試驗方法
6．1規格尺寸
對管材的規格尺寸偏差的丈量采用分度值不大于0．05mm的游標卡尺或量具進行
檢修。
6．1．1長度
用分度值為1mm的直尺沿管長方向丈量。
6．1．2外徑
丈量管材兩端及中間部位的直徑，每1000mm管材丈量點不得少于5個，取******值與
最小值，計算其偏差。
．1．3壁厚
丈量管材兩真個壁厚，每端丈量點不得少于3個，取******值與最小值，計算其偏差。
6．1．4偏壁度
丈量管材兩端統一橫截面上管壁厚度，取******值與最小值，計算其差值。
6．1．5橢圓度
丈量管材兩端統一橫截面上外徑取******值與最小值，計算其差值。
6．1．6彎曲度
將管材平放在平臺上，使兩端緊貼平面，滾動管子用塞尺丈量拱起部位與平面之間的******間隙。
6．2外觀檢修
外觀缺陷用目測，尺寸用精度為0．02mm的卡尺檢修，尺寸小于lmm的缺陷可用最
小讀數為0．01mm的顯微鏡丈量。氣泡、氣線按GB5949劃定檢修。
6．3理化機能檢修
6．3．1雜質含量按GB／T3284劃定分析。
6．3．2羥基含量按GB／Tl2442劃定檢修。
文章出處：http://www.fzquartz.com
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