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氣體擴散與滲透性能 | 新聞來源: 點擊數:4078 更新時間:2012/10/11 19:10:54 收藏此頁 |
| 石英玻璃氣體擴散與滲透性能 由于石英玻璃網絡結構中有很多不規則的空隙,使許多氣體有可能進行擴散和滲透,特點是原子直徑比較小的氣體如氦、氖、氫等在石英玻璃中滲透性比較大,而氮、氧等原子比較大,活度比較小的氣體,即使在600-700oC溫度下,在石英玻璃中滲透擴散是較低的,故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg負壓和加熱情況下的操作器皿,可用在高溫真空設備中。
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透明石英玻璃 |
不透明石英玻璃 |
Na+ |
2×10-4 |
5×10-5 |
Ca2+ |
2×10-8 |
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Al3+ |
<10-12 |
<10-12 |
Ag+ |
<10-5 |
<10-7 |
注:在1100oC下的擴散系數(單位為:cm2/秒) |
石英玻璃容器連續抽真空所能得到的******真空度 |
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20 |
900 |
透明石英玻璃 |
3.7×10-6 |
7.0×10-6 |
不透明石英玻璃 |
1.0×10-5 |
7.4×10-6 |
石英玻璃的透氣常數K(×10-10cm3.mm/秒.cm2) |
氣體 |
透氣常數K |
200oC |
400oC |
600oC |
700oC |
800oC |
900oC |
1000oC |
氦 |
1.39 |
6.15 |
16.4 |
21.9 |
28.5 |
36.2 |
45.4 |
氫 |
0.022 |
0.37 |
1.43 |
2.52 |
4.25 |
6.40 |
10.00 |
重氫 |
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17 |
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氖 |
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2.8 |
4.2 |
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氬 |
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<10-15 |
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氧 |
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<10-15 |
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氮 |
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<10-15 |
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產品質量檢測執行標準: GB9657-88 半導體用透明石英玻璃; GB9658-88 光源及真空儀表用透明石英玻璃 | | 總頁數:1 第 1 頁 |  |
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