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石英管在PECVD中的作用
新聞來源：    點擊數：2720    更新時間：2016/9/13 9:31:43    收藏此頁
PECVD中用的石英管規格主要有兩種：30*26*1130以及30*25*1130。

石英管在PECVD中的作用：

1) 石英管是硅材料，它界定了反應的范圍，使反應均勻。做真空chamber用；石英管，結合前后蓋板，提供了一個密封的反應腔。石英管是一個窗口的作用， 本身不產生等離子體，是微波源與銅波導管產生的。


2)干凈，鈉離子含量低；

為什么要定期更換石英管？

定期更換石英管，也就是“擦窗戶”的效果。用的時間長了，石英外壁會沉淀厚厚一層SiNx，影響石英管的激發效果，會影響均勻性和效率。不便于調節反應參數，所以要定期更換。
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