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石英深加工:石英坩堝的要求十分苛刻
新聞來源: 點擊數:2331 更新時間:2015/7/29 15:08:41
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石英坩堝先開啟循環水,看各冷卻水管冷卻水是否正常,每臺主機設備的循環水壓力在0.2MPa左右,水壓不能過低或過高,水壓過低循環水的水量不夠,實驗室凈化設備冷卻不好,溫度過高可能燒損設備;
石英深加工
1.使用90微米鋼線切割硅片開創了線切領域的先河,每年可多創造利潤近千萬元;在業內率先實現了100微米鋼線切割多晶片技術;自產涂層石英坩堝使拉晶成品率提高了。
2.石英坩堝是拉制單晶硅的消耗性器皿,每生產一爐單晶硅就用掉一只石英坩堝,因為單晶硅是生產大規模集成電路和太陽能電池的主要原料,所以對石英坩堝的要求十分苛刻,按照使用范圍不同,石英坩堝可分為:太陽能級硅單晶坩堝和集成電路級硅單坩堝。
3.水壓過高使主機設備的冷卻部位的水壓太大,會使冷卻部位爆開漏水;循環開啟十五分鐘后,方可進行下一操作;(門板冷卻水不要大,有水流既可,方水板,電極板,銅電極,立板冷卻水開一半既可,水冷套,真空泵和遮熱板水量要大)。 文章出處:
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