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半導(dǎo)體用透明石英玻璃管的適用范圍以及其他信息
新聞來源：    點擊數(shù)：3113    更新時間：2014/9/19 15:12:01    收藏此頁
1、主題內(nèi)容與合用范圍
      本尺度劃定了半導(dǎo)體用透明石英玻璃管的分類、規(guī)格尺寸、技術(shù)要求、試驗方法， 檢修規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。 本尺度合用于自然水晶或自然高純二氧化硅、硅鹵化物作原料，應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的透明石英玻璃管（以下簡稱石英玻璃管）。冶金、化學(xué)產(chǎn)業(yè)用透明石英玻璃管也可參照本尺度。
2、引用尺度
GB／T3284石英玻璃化學(xué)成分分析方法
GB59a9透明石英玻璃氣泡、氣線檢修方法
GB10701石英玻璃熱不亂性檢修方法
GB／T l2442石英玻璃中羥基含量試驗方法
3、術(shù)語
3．1氣線：石英玻璃管壁內(nèi)或表面的線狀棱形空穴。
3．2氣線密度：每平方厘米中氣線條數(shù)。
3．3破皮氣線：暴露在石英玻璃管內(nèi)外表面的啟齒氣線，其邊沿鋒利。
3．4色線：石英玻璃管上帶有顏色的線條。
3．5溝棱：石英玻璃管表面在長度方向形成的凹凸不平的溝槽和凸棱。
3．6晶紋：石英玻璃管上有顯著可見的各種微小的炸裂紋。
3．7麻點：石英玻璃管壁上的小雀斑。它是粘附在管壁上的粒狀雜質(zhì)經(jīng)清除后殘留的痕跡。
3．8雜質(zhì)：石英玻璃組成中二氧化硅（Si02）以外的組分。
3．9生料顆粒：透明石英玻璃管的內(nèi)、外壁上在熔制過程中所粘附的未熔化的石英質(zhì)顆粒。
3．10透明顆粒：石英玻璃管中完全熔化的透明石英質(zhì)顆粒。
3．11波紋：石英玻璃管的內(nèi)、外壁圓周呈現(xiàn)軸向的波浪形凹凸不平。
3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意外形的色點。
3．13氣泡群：透明石英玻璃管壁中，由微小氣泡（小于尺度中氣泡的下限尺寸）密集而成的群集氣泡。
3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上較大雜質(zhì)點、氣泡等弊病后留下的痕跡。
3．15暗疤：透明石英玻璃管壁內(nèi)呈現(xiàn)的一種斜狀、透明、有顯著界面的玻璃態(tài)（俗稱雪花，破皮或梅花）。在高溫熔燒中發(fā)橙色亮光。
3．16炸裂：石英玻璃管經(jīng)急冷急熱而產(chǎn)生的裂紋或碎裂。
3．17析晶：透明石英玻璃在特定溫度下析出晶體，造成失透。
3．18桔皮：透明石英玻璃管外觀呈現(xiàn)的象桔子皮似的影像。
3．19云霧：石英玻璃管燒制加工中，所產(chǎn)生的二氧化硅（SiO2）揮發(fā)物，冷凝后附著在表壁上的白色不透明物。
3．20偏壁度：石英玻璃管統(tǒng)一橫截面上******、最小壁厚之差。
3．21橢圓度：石英玻璃管統(tǒng)一橫截面上******、最小直徑之差。
3．22彎曲度：石英玻璃管在長度方向的平直程度。
4、產(chǎn)品分類
4．1分類
投出產(chǎn)工藝分以下5類：
a．真空常壓法管（常壓管）；
b．真空加壓法管（加壓管）；
c．電熔二步法管；
d．氣煉、電熔二步法管（氣煉二步法管）；
e．氣煉一步法管（氣煉管）。
4．2等級
石英玻璃管按外觀分為優(yōu)等品（A）、一等品（B）和合格品（C）3個等級。
5、技術(shù)要求
5．1規(guī)格尺寸
5．1．1石英玻璃管的規(guī)格尺寸范圍及外徑、壁厚偏差應(yīng)符合表1、表2的劃定。
5．1．2石英玻璃管的尺度長度為1000mm。
注：1．管子為兩端啟齒亦可為一端啟齒，封口管其孤度部門不包括在長度內(nèi)。
2．特殊規(guī)格或其它規(guī)格的管子，由供需雙方約定。
5．1．3矩形管、鐘罩式石英管規(guī)格尺寸由供需雙方約定。
5．2尺寸偏差
5．2．1外徑偏差、壁厚偏差應(yīng)符合表1、表2的劃定。
5．2．2長度：偏差為管長的±1％。
5．2．3偏壁度：不得大于壁厚偏差的絕對值。
5．2．4橢圓度：不得大于外徑偏差的絕對值。
5．2．5彎曲度：不得超過管長的3‰。
注：管長在1000mm以上，其彎曲度不得超過管長的2．5‰。
5．3外觀指標(biāo)
5．3．1常壓管、加壓管、電熔二步法、氣煉二步法管的外觀指標(biāo)應(yīng)不大于表3的劃定。
5．4雜質(zhì)含量
5．4．1Al、Fe、Ca、Mg、Cu、Co、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B13個雜質(zhì)元素的總含
量應(yīng)不大于50×10[-6]其中：
Fe≤3×10[-6]，Cu≤0．8×10[-6]，Na≤2×l0[-6]，
K≤2×l0[-6]，Li≤2×l0[-6]，B≤0．3×l0[-6]。
5．4．2羥基含量
半導(dǎo)體用石英玻璃管的羥基含量應(yīng)不大于220×l0[-6]。
5．5物理機(jī)能
5．5．1熱不亂性
石英玻璃管在1100℃下恒溫15min，置于20±5℃水中急冷，不得泛起裂紋、缺口
（切、磨口處斷面崩落不計）。
5．5．2析晶機(jī)能
石英玻璃管在l100±5℃下恒溫6h，析晶層均勻厚度不大于100μm。
5．5．3高溫變形
石英玻璃管在1200±10℃下保溫24h，其變形率：直徑不大于120mm的管材變形率
應(yīng)不大于4％，直徑大于120mm的管材，變形率應(yīng)不大于6％。
6試驗方法
6．1規(guī)格尺寸
對管材的規(guī)格尺寸偏差的丈量采用分度值不大于0．05mm的游標(biāo)卡尺或量具進(jìn)行
檢修。
6．1．1長度
用分度值為1mm的直尺沿管長方向丈量。
6．1．2外徑
丈量管材兩端及中間部位的直徑，每1000mm管材丈量點不得少于5個，取******值與
最小值，計算其偏差。
．1．3壁厚
丈量管材兩真?zhèn)€壁厚，每端丈量點不得少于3個，取******值與最小值，計算其偏差。
6．1．4偏壁度
丈量管材兩端統(tǒng)一橫截面上管壁厚度，取******值與最小值，計算其差值。
6．1．5橢圓度
丈量管材兩端統(tǒng)一橫截面上外徑取******值與最小值，計算其差值。
6．1．6彎曲度
將管材平放在平臺上，使兩端緊貼平面，滾動管子用塞尺丈量拱起部位與平面之間的******間隙。
6．2外觀檢修
外觀缺陷用目測，尺寸用精度為0．02mm的卡尺檢修，尺寸小于lmm的缺陷可用最
小讀數(shù)為0．01mm的顯微鏡丈量。氣泡、氣線按GB5949劃定檢修。
6．3理化機(jī)能檢修
6．3．1雜質(zhì)含量按GB／T3284劃定分析。
6．3．2羥基含量按GB／Tl2442劃定檢修。 
文章出處：http://www.fzquartz.com



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