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氣體擴(kuò)散與滲透性能
新聞來源: 點(diǎn)擊數(shù):4077 更新時(shí)間:2012/10/11 19:10:54
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石英玻璃氣體擴(kuò)散與滲透性能 由于石英玻璃網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中有很多不規(guī)則的空隙,使許多氣體有可能進(jìn)行擴(kuò)散和滲透,特點(diǎn)是原子直徑比較小的氣體如氦、氖、氫等在石英玻璃中滲透性比較大,而氮、氧等原子比較大,活度比較小的氣體,即使在600-700
o
C溫度下,在石英玻璃中滲透擴(kuò)散是較低的,故石英玻璃可作10
-5
-10
-6
mmHg負(fù)壓和加熱情況下的操作器皿,可用在高溫真空設(shè)備中。
離子在石英玻璃的擴(kuò)散系數(shù)
透明石英玻璃
不透明石英玻璃
Na
+
2×10
-4
5×10
-5
Ca
2+
2×10
-8
Al
3+
<10-
12
<10-
12
Ag
+
<10
-5
<10
-7
注:在1100
o
C下的擴(kuò)散系數(shù)(單位為:cm
2
/秒)
石英玻璃容器連續(xù)抽真空所能得到的******真空度
20
900
透明石英玻璃
3.7×10
-6
7.0×10
-6
不透明石英玻璃
1.0×10
-5
7.4×10
-6
石英玻璃的透氣常數(shù)K(×10
-10
cm
3
.mm/秒.cm
2
)
氣體
透氣常數(shù)K
200
o
C
400
o
C
600
o
C
700
o
C
800
o
C
900
o
C
1000
o
C
氦
1.39
6.15
16.4
21.9
28.5
36.2
45.4
氫
0.022
0.37
1.43
2.52
4.25
6.40
10.00
重氫
17
氖
2.8
4.2
氬
<10-
15
氧
<10-
15
氮
<10-
15
產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):
GB9657-88 半導(dǎo)體用透明石英玻璃; GB9658-88 光源及真空儀表用透明石英玻璃
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